●2023年度
4月12日-14日:SBF-SEM(SIGMA/VP)修理・検出器交換
4月17日:SBF-SEM(MERLIN)修理
4月21日:SBF-SEM(Sigma/VP)調整
5月 2日:SBF-SEM(IT800)調整(対物絞り交換)
5月15日-18日:SBF-SEM(MERLIN) Gun交換
6月29日:SBF-SEM(MERLIN)付属精密空調機修理
7月14日:SBF-SEM(Sigma/VP)点検・修理
7月14日:Sigma点検
8月 7日:Sigmaエアー漏れ修理
8月25日:SBF-SEM(IT800)DS2ファームウェアアップデート
9月14日:SBF-SEM(MERLIN)付属精密空調機ダクト修理
10月4日:SBF-SEM(MERLIN)TMP交換
11月14日-15日:SBF-SEM(IT800)点検・修理
12月14日:JEM1010 CCDカメラの修理(山手地区・明大寺地区)
12月20日:JEM1011 ゴニオメータ等修理(山手地区)
2月1日-2日:HT7700 保守点検
2月9日:Sigma反射電子検出器交換
2月14日:SBF-SEM(MERLIN)保守点検
3月 5日:SBF-SEM(Sigma/VP)保守点検
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